电子氟化液是无色透明的液体。臭氧消耗潜能值ODP为零,全球暖化潜势系数GWP 低,大气停留时间短,化学和热稳定性高,无毒,表面张力低,被广泛应用于医疗、电子、金属、精密器械、光学镜片、通信及航空航天等众多领域。
①用作清洗剂
可用于清洗半导体刻蚀腔体及零件;清除氟素残留堆积物;清洗FOUPs(前开式标准晶圆盒);清洗精密电子零件的颗粒杂质;清洗LCD/OLED显示器、光学零件及镜片;清洗汽车引擎零件;清洗通讯设备及航空引擎、输氧管路设备;清洗医疗设备零件等。
②用作溶剂
可用于气密性测试和耐电压测试的媒介物;电子涂层、屏幕涂层稀释剂;氟油、氟树脂、氟涂层稀释剂;反应溶媒以及分析用萃取溶剂等。
③用作冷媒
可用于数据中心沉浸式冷媒;功率器件沉浸式冷媒;干法刻蚀装置、光刻装置、离子喷射装置、探头及信息处理装置的控温冷媒;也可用于食品工业冷却装置、冷冻干燥、橡胶塑料的冻结粉碎、化学医药品工业冷却装置等。
优异的性能和出色的环境和安全性能融为一体,这包括:
低温室效应潜能值
不包括有害性空气污染物
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