氟化液是无色透明全氟化学品,具有良好的化学惰性、电气绝缘性能、热传导性和独特的低表面张力广泛应用于半导体制造厂作为热传导介质。其液体温度范围为165℃,主要应用于蚀刻设备、离子注入设备、测试设备及其他设备。
产品特性
且拥有适度的溶解性
与HFC、PFC相比,其全球暖化潜势系数(GWP)大幅降低,减轻了环境的负担。
应用包括:
Gross Leak Testing(测漏液)
电子零部件(IC,LSI部件)或者电子装置的气密性测试。
Thermal Shock(冷热冲击测试液),适合高温槽应用。
热传导液应用
氟化液确定的氟利昂替代物清单(SNAP清单)中的清洗剂和冷媒,被指定为Acceptable(可无限使用),为提倡绿色采购的现金企业提供理想的解决方案。
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