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半导体在传热方面的解决方案-氟化液

氟化液-安全电子氟化液-超长寿命氟化液

热管理方面的挑战对半导体制造商正变得越来越重要。新型设备的设计也对于设备中用于保持工艺适当的温度的绝缘液体提出更高的要求。而且在晶圆厂或工厂经营决策中,对环境问题的考虑也已成为一个关键因素。

 美德新材料的氟化液非常适合解决这些问题。这些不燃,非腐蚀性的材料在综合考虑高传热效率,低环境影响和对工人的安全保护,提供了一个优异的平衡性能。正因为如此,该类惰性冷却液被广泛用于在许多关键半导体制造工艺的热管理中,包括静电吸盘冷却,自动化测试,蚀刻,离子注入以及光刻等等。

氟化液的独特性能结合在一起,就可以提供有效的热传输,降低维护成本和提高工人的安全,同时帮助减少您设备的温室气体排放。使用传热介质可以降低99%的温室气体排放量:

1.优异的介电性质

2.覆盖较宽的沸点范围

3.良好的材料兼容性

4.无毒和不燃

5.低全球变暖潜势(GWP)

6.零臭氧破坏潜能(ODP)

适用范围

广泛应用于各种温控散热系统,特别适用于半导体生产制备的各种环节中温控系统、数据中心服务器浸没式冷却、风力发电机和发电机组内部散热、高压变压器的浸没式散热介质以及相控阵雷达散热。


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